04. SCCM & SLM 이란? 왜 이런 단위를 사용할까? (예시 포함)
1. SCCM & SLM이란?
A. SCCM이란?
(Standard Cubic Centimeter per Minute)
용어 그대로,
‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다.
(1cc=1㎤)
이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을 의미한다.
(1atm = 1기압 = 대기압)
즉, 1000SCCM은 표준상태에서
1분에 1000cc의 기체가 흐른다는 것을 의미한다.
B. SLM이란?
(Standard Liter per Minute)
용어 그대로,
‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 Liter가 흐르는가’를 나타내는 단위이다.
(1L=1000cc=1000㎤)
즉, 1SLM은 표준상태에서
1분에 1L의 기체가 흐른다는 것을 의미한다.
또한, 1SLM=1000SCCM이 성립한다.
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2. SCCM & SLM 왜 사용할까?
결론부터 말하자면,
기체의 부피유량으로써
질량 유량을 함께 나타내기 위함이다.
- SCCM & SLM 모두 Standard 상태라는 것에 주목하자.
- 0도씨, 1atm이라는 Standard 상태는
온도와 압력을 특정 값에 고정 하여 생각한다는 의미이다.
즉, 기체가 온도와 압력에 의해 받는 영향*을 배제하여
부피유량과 질량유량이 비례하도록**
설정해놓은 단위라고 할 수 있다.
이는 동일한 종류의 기체 흐름이 동일한 SLM 또는 SCCM을 갖는다면
동일한 질량유량을 갖는 것이라고 할 수 있다.
*온도 상승 -> 부피 상승 / 압력 상승 -> 부피 하락
**예시, 2SLM=1kg/min라면, 4SLM=2kg/min
(PV=nRT, 이상기체 상태방정식에 의해)
- 2가지 경우를 예로 들어 이해해보자
<Case 1>
0도씨 2atm에서 O2가
1분 동안 2L의 기체가 흘렀다고 가정.
<Case 2>
0도씨 4기압에서 O2가
1분 동안 1L의 기체가 흘렀다고 가정.
위 두 가지 유량을 SLM으로 나타내면
모두 4SLM이며, 동일한 질량유량 이라고 할 수 있다.
(1atm에서의 부피는 2atm일 때의 2배, 4atm일 때의 4배이므로)
(1atm에 비해 2atm에선 두 배, 4atm에서는 4배의 힘으로
압축한 것이라고 생각하면 편하다.)
- 이번엔 SLM, SCCM과의 비교를 위해
위 예시에 대한 일반유량(L/min)을 구해보면,
2L/min
1L/min
으로 서로 다른 체적유랑을 나타낼 뿐,
질량유량이 같음에도 질량유량이 같다는 것을 표현할 수 없다.
- 일반유량을 통해 질량 유량을 표현하기 위해선
압력과 온도를 함께 표현해야만 할 것이다.
- SCCM, SLM은 MFC라는 배관 요소에서 사용되는 단위이므로
아래 글을 참고하길 바란다.
01. MFC란? (Mass Flow Controller)
1. MFC란? - MFC란 Mass Flow Controller의 약자로, 용어 그대로 질량 유량 제어장치를 말한다. - MFC의 질량유량 단위는 일반적으로 SCCM 또는 SLM이다. - SCCM, SLM은 표준상태에서의 유량을 나타내는 단위로,..
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위 글은 기업의 구매, 영업, 설계 담당자에게 도움을 드리기 위한 참조용 글입니다.