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1. SCCM & SLM이란? A. SCCM이란? (Standard Cubic Centimeter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1cc=1㎤) 이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을 의미한다. (1atm = 1기압 = 대기압) 즉, 1000SCCM은 표준상태에서 1분에 1000cc의 기체가 흐른다는 것을 의미한다. B. SLM이란? (Standard Liter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 Liter가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1L=1000cc=1000㎤) 즉, 1SLM은 표준상태에서 1분에 1L의 기체가 흐른다는 것을 의미한다. 또한, 1SLM=1000SCCM이 성립한다. ht..