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지난 포스팅에선 Tracer Gas Test에 대하여 알아보았다. http://nefing.com/c/78601165 01. SEMI S6 - Tracer Gas Test란? (예시) 이번 포스팅에선 Tracer Gas Test란 무엇인지 알아보려 한다. 1. (SEMI S6) Tracer Gas Test란? A. 정의 - 반도체 제조 설비에 사용되는 위험물질(Toxic & Flammable)에 대한 Test이다. - 더 구체적으로, 설비의.. nefing.com 이번 포스팅에선 He Leak Check Test란 무엇인지 알아보려 한다. * 다루는 내용 * 1. He Leak Test란? 2. 왜 He을 사용할까? 1. He Leak Test란? A. 정의 - He(헬륨) Gas를 이용하여 제품의 기밀..

이번 포스팅에선 Tracer Gas Test란 무엇인지 알아보려 한다. 1. (SEMI S6) Tracer Gas Test란? A. 정의 - 반도체 제조 설비에 사용되는 위험물질(Toxic & Flammable)에 대한 Test이다. - 더 구체적으로, 설비의 배기시스템에 의한 위험물질의 농도를 측정하는 Test이다. Test 시 실제 위험물질을 사용하지 않고 안전한 물질인 Tracer Gas를 대신 사용하기 때문에 Tracer Gas Test라고 불린다. - Test 결과 값(위험물질 농도)을 SEMI* 기준과 비교함으로써 SEMI 기준 만족 여부를 판단할 수 있다. B. Test 대상 - 반도체 제조용 설비를 대상으로 한다. - 설비 내에서도 아래와 같은 모듈에 대하여 평가한다. 1. Box/Encl..