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1. What is MFC? - MFC stands for Mass Flow Controller and refers to a mass flow control device as the term implies. - The mass flow unit of the MFC is generally SCCM or SLM*. * SCCM and SLM are units representing the flow rate in the standard state, and please refer to the link below for more information. https://ysbusy.tistory.com/62 01. What is SCCM & SLM? Why do we use this unit? (Including e..

1. What is SCCM & SLM? A. What is SCCM? (Standard Cubic Centimeter per Minute) Just like the term, It is a unit representing 'how many cc per minute the gas flows in the standard state'. (1cc=1㎤) In this case, the standard state means 0 degrees Celsius and 1 atm. (1 atm = 1 atmosphere = atmospheric pressure) That is, 1000 SCCM in the standard state means that 1000cc of gas flows per minute. B. W..

1. MFC란? - MFC란 Mass Flow Controller의 약자로, 용어 그대로 질량 유량 제어장치를 말한다. - MFC의 질량유량 단위는 일반적으로 SCCM 또는 SLM이다. - SCCM, SLM은 표준상태에서의 유량을 나타내는 단위로, 자세한 사항은 아래 링크을 참고하길 바란다. http://nefing.com/c/24532121 04. SCCM & SLM 이란? 왜 이런 단위를 사용할까? (예시 포함) 1. SCCM & SLM이란? A. SCCM이란? (Standard Cubic Centimeter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1cc=1㎤) 이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을.. nefing.com http..

1. SCCM & SLM이란? A. SCCM이란? (Standard Cubic Centimeter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1cc=1㎤) 이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을 의미한다. (1atm = 1기압 = 대기압) 즉, 1000SCCM은 표준상태에서 1분에 1000cc의 기체가 흐른다는 것을 의미한다. B. SLM이란? (Standard Liter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 Liter가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1L=1000cc=1000㎤) 즉, 1SLM은 표준상태에서 1분에 1L의 기체가 흐른다는 것을 의미한다. 또한, 1SLM=1000SCCM이 성립한다. ht..