01. SEMI S6 - Tracer Gas Test란? (예시)

 

이번 포스팅에선 Tracer Gas Test란 무엇인지 알아보려 한다.

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1. (SEMI S6) Tracer Gas Test란?

 

A. 정의

 

- 반도체 제조 설비에 사용되는 위험물질(Toxic & Flammable)에 대한 Test이다.

- 더 구체적으로, 설비의 배기시스템에 의한 위험물질의 농도를 측정하는 Test이다.

Test 시 실제 위험물질을 사용하지 않고 안전한 물질인 Tracer Gas를 대신 사용하기 때문에 Tracer Gas Test라고 불린다.

- Test 결과 값(위험물질 농도)을 SEMI* 기준과 비교함으로써 SEMI 기준 만족 여부를 판단할 수 있다.

 

B. Test 대상

 

- 반도체 제조용 설비를 대상으로 한다.

- 설비 내에서도 아래와 같은 모듈에 대하여 평가한다.

1. Box/Enclosure(닫힌 용기) 내에 Toxic Gas 누출원**이 존재함과 동시에, 배기 시스템이 갖춰진 모듈.

2. Box/Enclosure(닫힌 용기) 내에 Flammable Gas & 점화원이 존재함과 동시에, 배기 시스템이 갖춰진 모듈.

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Tracer Gas Test 대상 예시

 

C. Test Mechanism

 

- Tracer Gas Test 절차는 아래 이미지와 같다.

Tracer Gas Test 절차

 

C-1) 배기 진행

: 실제 배기 시스템의 배기유량과 동일하게 배기를 진행한다.

 

C-2) Tracer Gas 주입

: 유해물질이 누출될 수 있는 지점에 Tracer Gas를 주입한다.

 

C-3) 시료 채취

: 유해물질의 시료를 채취한다.

: Toxic Gas는 설비 사용자의 호흡영역에서 채취한다.

: Flammable Gas는 Enclosure 내부 점화원에서 시료를 채취한다.

 

C-4) 시료 농도 측정

: 채취한 시료의 농도를 측정한다.

 

C-5) SEMI 기준과 비교

: 채취한 시료의 농도를 SEMI 기준과 비교한다.

: Toxic Gas SEMI 기준 – OEL*** 25% 미만

: Flammable Gas SEMI 기준 – LEL**** 25% 미만

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2. Tracer Gas Test의 예시

 

A. NF3 (삼불화질소)

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- NF3 OEL : 10 ppm*****

- NF3는 불연성 Gas

-> 작업자의 호흡영역에서의 Tracer Gas 농도가

2.5 ppm(10 ppm의 25%) 미만일 경우 SEMI 기준에 충족

 

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-각주-

* SEMI : 반도체 제조 장비 재료 협회로, 국제 무역협회이다.

: 반도체 제조 설비에 대한 규격 제정 및 인증.

 

** 누출원 : 배관에 흐르는 유체가 누출될 수 있는 지점, 요소.

: 배관과 연결되는 지점, 요소들이 해당된다.

 

*** OEL (Occupational Exposure Limit) : 설비 사용자가 일정 시간 동안 노출될 수 있는 물질의 공기 중 허용 가능한 최대 농도

 

**** LEL (Lower Flammable Limit) : 인화성 물질이 공기중에서 연소가 일어날 수 있는 최소 농도

 

***** ppm (Parts Per Million) : 백만분률, mg/m^3 or mg/1,000L 등의 단위가 존재한다.

 

*위 글은 기업의 구매, 영업, 설계 담당자에게 도움을 드리기 위한 참조용 글입니다*