02. He Leak Test란? (헬륨 누설 검사)

 

 

지난 포스팅에선 Tracer Gas Test에 대하여 알아보았다.

http://nefing.com/c/78601165

01. SEMI S6 - Tracer Gas Test란? (예시)

이번 포스팅에선 He Leak Check Test란 무엇인지 알아보려 한다.

 

* 다루는 내용 *

1. He Leak Test란?

2. 왜 He을 사용할까?

 

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1. He Leak Test란?

 

A. 정의

 

- He(헬륨) Gas를 이용하여 제품의 기밀 성능에 대해 Test 하는 것이다.

즉, 제품에 Leak(누설)가 없는지 Test 하는 것이다.

 

B. Test 대상

 

- 진공 용기, 배관, 진공 단자, 용접 Bellows와 같이

Leak가 발생할 수 있는 것들을 Test 대상으로 한다.

 

C. Test Mechanism

 

- He Leak Test 절차는 아래 이미지와 같다.

(아래의 예시는 He Leak Test의 대표적인 방법인 Spray 방법임을 참고한다.)

[He Leak Test Mechanism]

 

C-1) 진공 상태 구현

: 실제로 사용되는 진공 상태를 구현한다.

 

C-2) Leak 발생 가능 부위에 He 분사

: Leak 발생이 가능한 부위에 He을 분사한다.​

: Leak 발생 시 He이 진공용기 내부로 유입된다.

 

C-3) Leak Detect

: 아래 이미지와 같이 Pump와 Leak 발생 가능 부위 사이에 Leak Detector가 설치되며,

Leak Detector는 Leak가 발생할 시 유입된 He을 감지한다.

: He이 감지되었다는 것은 Leak가 발생하였다는 것을 의미하며,

제품의 진공 성능을 점검할 필요가 있다.​

[Leak Detector가 장착된 진공 System의 예시]

 

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2. 왜 He을 사용할까?

 

수많은 물질 중에서도 Test에 He을 사용하는 이유는 아래와 같다.

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1. 공기 중에 극소량의 농도가 존재하여 별도로 공기 조성을 조작할 필요가 없다.

​2. 독성이 없어 안전하다.

​3. 쉽게 타지 않아 안전하다.

4. 화학적으로 안정되어 다른 가스와 반응하지 않는다.

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*위 글은 기업의 구매, 영업, 설계 담당자에게 도움을 드리기 위한 참조용 글입니다*