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01. MFC란? (Mass Flow Controller) 본문
1. MFC란?
- MFC란 Mass Flow Controller의 약자로,
용어 그대로 질량 유량 제어장치를 말한다.
- MFC의 질량유량 단위는 일반적으로
SCCM 또는 SLM이다.
- SCCM, SLM은 표준상태에서의
유량을 나타내는 단위로,
자세한 사항은 아래 링크을 참고하길 바란다.
04. SCCM & SLM 이란? 왜 이런 단위를 사용할까? (예시 포함)
1. SCCM & SLM이란? A. SCCM이란? (Standard Cubic Centimeter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1cc=1㎤) 이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을..
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2. MFC는 언제 사용될까?
- 기체를 특정 위치에서
또 다른 위치로 흘려보내고자 할 때 사용된다.
- 또한 흘려보내고자하는 가스의 질량유량을
일정하게 유지시키고 싶을 때
MFC가 원하는 질량유량만큼
흐를 수 있도록 제어하는 역할을 한다.
- 위 이미지를 예로 들면
A에서 B로 5000 SCCM이 흐르도록 제어하고 싶을 때,
5000 SCCM의 MFC가 A와 B 사이에 위치하여
원하는 질량유량을 달성하도록 하는 것이다.
위 글은 기업의 구매, 영업, 설계 담당자에게 도움을 드리기 위한 참조용 글입니다.
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