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1. What is MFC? - MFC stands for Mass Flow Controller and refers to a mass flow control device as the term implies. - The mass flow unit of the MFC is generally SCCM or SLM*. * SCCM and SLM are units representing the flow rate in the standard state, and please refer to the link below for more information. https://ysbusy.tistory.com/62 01. What is SCCM & SLM? Why do we use this unit? (Including e..
1. MFC란? - MFC란 Mass Flow Controller의 약자로, 용어 그대로 질량 유량 제어장치를 말한다. - MFC의 질량유량 단위는 일반적으로 SCCM 또는 SLM이다. - SCCM, SLM은 표준상태에서의 유량을 나타내는 단위로, 자세한 사항은 아래 링크을 참고하길 바란다. http://nefing.com/c/24532121 04. SCCM & SLM 이란? 왜 이런 단위를 사용할까? (예시 포함) 1. SCCM & SLM이란? A. SCCM이란? (Standard Cubic Centimeter per Minute) 용어 그대로, ‘표준 상태에서 기체가 1분당 몇 cc가 흐르는가’를 나타내는 단위이다. (1cc=1㎤) 이때, 표준상태란 0도씨, 1atm을.. nefing.com http..