알기 쉬운 기술 지식, 한 눈에 보는 업체 비교

이번 포스팅에선 Tracer Gas Test란 무엇인지 알아보려 한다. 1. (SEMI S6) Tracer Gas Test란? A. 정의 - 반도체 제조 설비에 사용되는 위험물질(Toxic & Flammable)에 대한 Test이다. - 더 구체적으로, 설비의 배기시스템에 의한 위험물질의 농도를 측정하는 Test이다. Test 시 실제 위험물질을 사용하지 않고 안전한 물질인 Tracer Gas를 대신 사용하기 때문에 Tracer Gas Test라고 불린다. - Test 결과 값(위험물질 농도)을 SEMI* 기준과 비교함으로써 SEMI 기준 만족 여부를 판단할 수 있다. B. Test 대상 - 반도체 제조용 설비를 대상으로 한다. - 설비 내에서도 아래와 같은 모듈에 대하여 평가한다. 1. Box/Encl..